Криогенный воздухоразделительный блок высокой чистоты для электроники

Криогенная установка разделения воздуха высокой чистоты для электроники обеспечивает непрерывную подачу азота, кислорода или аргона с концентрацией 99,999%+ на заводы по производству полупроводников, светодиодные эпитаксии и линии фотоэлектрических элементов. Установка работает круглосуточно, без циклических поездок. Примеси на выходе обычно составляют менее 1 ppm общего количества углеводородов и 0,5 ppm CO₂.

Описание процесса

Окружающий воздух сжимается, предварительно-охлаждается и проходит через установку очистки, удаляющую воду, CO₂ и углеводороды. Затем чистый воздух поступает в холодильную камеру, содержащую две дистилляционные колонны. Рабочая температура колонки составляет от -185 градусов до -196 градусов. Разделение происходит путем многократного испарения и конденсации в зависимости от температуры кипения (N₂: -196 градусов, O₂: -183 градусов). Продуктовый газ отбирается из верхней части колонны высокого давления для азота или из колонны низкого давления для кислорода и аргона.

Типичные данные о производительности

Значения зависят от температуры окружающей среды на объекте, условий охлаждающей воды и требований к конечной чистоте. Подтвердите с помощью моделирования процесса.

Компромисс между энергопотреблением и надежностью-

Для любой криогенной установки разделения воздуха высокой чистоты для электроники удельная потребляемая мощность является самой большой стоимостью эксплуатации. В конструкции используется высокоэффективный турбодетандер и ступенчатые дистилляционные колонны, позволяющие поддерживать мощность в диапазоне, показанном выше.

Однако предприятия по производству электроники также сталкиваются с высоким риском простоев. Сбой в подаче газа может привести к поломке всей партии пластин. Поэтому мы обычно рекомендуем добавить резервуар для хранения жидкости с испарителем или резервную колонку. Это увеличивает капитальные затраты, но снижает риск производственных потерь. Многие клиенты соглашаются на более высокую первоначальную стоимость после расчета собственных расходов за время простоя.

Технические характеристики

• Метод разделения: Криогенная ректификация.
• Материал колонки: алюминиевый сплав 5083 или нержавеющая сталь 304/316L.
• Система управления: ПЛК (Siemens или Rockwell) или РСУ с удаленным доступом Modbus TCP/IP.
• Остаточные углеводороды в продукте: < 1 ppm
• CO₂ после очистки: < 0,5 ppm
• Точка росы продукта: <-70 градусов

Параметры настройки

На каждом сайте разные условия. Мы корректируем:

• Конструкция для высокой температуры окружающей среды, влажности или высоты
• Степень чистоты (например, только 99,9995 % N₂ - меньше ступеней колонны, меньшая мощность)
• Полная конфигурация экстракции (N₂ + O₂ + Ar одновременно)
• Интеграция системы жидкостного резервирования (резервуар + испаритель + автоматическое переключение)
• Компоновка в контейнере или на салазках-для установки на-сайтах с ограниченным пространством

Прежде чем предлагать окончательный проект, нам нужны данные о месте эксплуатации (условия окружающей среды, требуемый расход, чистота, давление).

Услуги и сертификаты

• Объем: технологическое проектирование, изготовление, монтаж на месте, ввод в эксплуатацию, обучение операторов, постоянное техническое обслуживание.
• Сертификаты: ISO 9001, ISO 14001, ASME или PED (при необходимости), китайская лицензия на сосуд под давлением.
• Ссылки: Доступно в соответствии с соглашением о неразглашении. Имена клиентов не разглашаются без разрешения.

О Шенгер Газе

Shenger Gas проектирует и производит криогенную установку разделения воздуха высокой чистоты для электроники, основываясь на реальных условиях на объекте, а не на заранее-установленных брошюрах. Для каждого проекта мы проводим полное моделирование процесса. Заводская проверка включает испытание на утечку гелием и проверку работоспособности при низких температурах. На месте мы вводим в эксплуатацию до тех пор, пока полученный газ не будет соответствовать техническим требованиям в течение 72 часов подряд. Это наш стандарт передачи. Никаких претензий без данных.

горячая этикетка : Криогенная установка разделения воздуха высокой чистоты для электроники, Китай Криогенная установка разделения воздуха высокой чистоты для электроники производители, поставщики, завод