Криогенная воздухоразделительная установка-класса электроники

Этот блок предназначен для подачи газообразного/жидкого кислорода, азота и аргона высокой-высокой чистоты для производства полупроводников, фотогальванического производства и химического производства электроники. Суть его конструкции заключается в устойчивом-управлении выпрямлением и способности удаления следов примесей криогенной установки разделения воздуха-класса электроники, гарантируя, что сырьевой газ соответствует строгим пороговым значениям, установленным электронной промышленностью по общему содержанию углеводородов, CO₂, влаги и других загрязняющих веществ.

Основной принцип

Этот процесс следует обратному циклу Брайтона. Предварительно -очищенный воздух глубоко охлаждается примерно до температуры от –170 до –196 градусов, а затем подвергается нескольким этапам ректификации в структурированных насадочных колоннах, используя разницу в точках кипения- кислорода, азота и аргона. Благодаря скоординированному управлению высокоточными-регулирующими клапанами и тепловой нагрузкой верхнего конденсатора чистота продукта стабилизируется на уровне электронного-класса. Система включает в себя предварительную-очистку на основе молекулярных{9}}адсорбционных сит, турбо-детандерное охлаждение и изоляцию холодного-бокса, что позволяет криогенному воздухоразделителю-класса электроники работать с устойчиво низким энергопотреблением в течение продолжительных периодов времени.

Технические параметры (типовой расчетный диапазон)

Скорость потока и чистота обратно пропорциональны; окончательное соответствие зависит от состава подаваемого-воздуха и требований пользователя к давлению.

Температурный диапазон и энергетические характеристики

• Разница температур на клеммах основного теплообменника: Меньше или равна 3 градусам во всем диапазоне нагрузок.
• Нижняя температура нижней части колонны: от –170 до –175 градусов; Верхняя температура верхней колонны: от –192 до –196 градусов.
• Общее энергопотребление примерно на 12–18 % ниже, чем у обычных установок промышленного-класса, в основном благодаря высокоэффективному турбодетандеру с наддувом-и уменьшенному перепаду давления в насадочной-колонне. Потери холода поддерживаются на уровне ниже 5% от общей холодопроизводительности, что особенно выгодно в регионах с высокими затратами на электроэнергию.

Основные компоненты и срок службы

• Главный конденсатор: алюминиевый сплав 5052 или нержавеющая сталь 304L (устойчивая к коррозии под напряжением).
• Упаковка: высокоэффективная-структурированная гофрированная упаковка с удельной площадью поверхности не менее 500 м²/м³.
• Молекулярное сито: сорт 13X-APG, расчетный срок службы не менее 6 лет.

Промышленное применение

Подразделение обслуживает заводы по производству пластин интегральных схем, установки по производству плоских-панелей, операции по вытягиванию фотоэлектрических слитков, производство преформ оптического волокна и специальные газозаправочные станции, обеспечивая-производство газа на месте или подачу газа по трубопроводу. Он компенсирует колебания-давления подаваемого воздуха и температуры окружающей среды, обеспечивая возможность быстрого-изменения нагрузки (от 30 % до 110 %). Исключается необходимость использования внешних цистерн для перевозки жидкостей, что снижает риски загрязнения во время логистики.

Система безопасности и контроля

• Интегрированная РСУ с отдельной системой безопасности (SIS) для непрерывного мониторинга углеводородов и точки росы.
• Встроенный-онлайн-анализатор ацетилена для жидкого кислорода с логикой автоматической продувки-и аварийного отключения.
• Кольцевое пространство холодного-бокса заполнено перлитом и защищено азотной подушкой.

Техническое обслуживание и модульная планировка

Основной холодный ящик, установленный на раме-, расположен отдельно от секции предварительной-очистки, чтобы сократить время монтажа-на строительной площадке. Все соединения прибора оснащены двойными запорными клапанами для облегчения онлайн-калибровки. Интерфейсы удаленной диагностики предусмотрены для мониторинга рабочих параметров и оповещений о профилактическом обслуживании.

Выбор и дополнительная конфигурация

При определении системы укажите давление подаваемого-воздуха, целевые типы и чистоту продуктов, а также профили ежедневной нагрузки. Если требуется аргон высокой-чистоты или азот сверх-высокой-чистоты (меньше или равно 0,1 ppm O₂), можно использовать колонну раскисления или дополнительную стадию адсорбционной очистки. Целесообразно зарезервировать место для будущего расширения мощности.

Shenger Gas специализируется на технологиях криогенной сепарации. Криогенная установка разделения воздуха-класса электроники конфигурируется на основе стандартизированной библиотеки проектирования, что позволяет быстро привести процесс в соответствие с-определенными пользователем требованиями к расходу и чистоте. Схема расположения трубопроводов в холодной-коробке-конкретного проекта принята для сохранения механической целостности и теплового баланса. Технические сводки по энергопотреблению, занимаемой площади и инвестиционным показателям доступны после предоставления условий эксплуатации.

горячая этикетка : электроника-криогенная установка разделения воздуха, Китай электроника-криогенная установка разделения воздуха производители, поставщики, завод